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单晶硅制备过程中液口距大小与晶体品质参数关系研究

截止时间：2020-12-31 发布时间：2020-04-03 投入预算：100 万元 联系人：孙婧楠 宁夏回族自治区银川市

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需求简介

液口距拉晶过程中的重要的工艺参数，其波动可能会影响单晶的品质尤其是氧含量；目前行业内对液口距对单晶品质的影响没有系统的研究，因此有必要系统的研究拉晶过程中液口距对单晶品质的影响，尤其是对氧含量的影响，对提高单晶的品质具有重要意义。

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