[00318712]回转窑法合成氮化铝的方法
交易价格：
面议
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：
专利号：CN201910732234.8
交易方式：
完全转让
联系人：
饶晓方
所在地：宁夏回族自治区石嘴山市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法，该靶材密度≥4.5g/cm3，电阻率≤1.4×10-3Ω·cm，长度≥400mm，壁厚6—14mm。制备方法包括以下步骤：1）粉末混合：将氧化铌粉末与金属铌粉进行机械混合均匀；2）粉末预烧：对步骤1）中混合后粉末进行真空预烧；3）粉末处理：对预烧粉末进行球磨处理；4）冷等静压成型：对处理粉末装入模具中冷等静压预压成型旋转靶材坯体；5）坯体车削加工：对靶材坯体进行车削加工；6）真空热压烧结：对加工坯体置入石墨模具中进行热压真空烧结；7）靶坯加工：对烧结旋转靶材靶坯按尺寸加工，即得到高致密低电阻旋转氧化铌靶材。该靶材导电性较好，具有较好的物理和化学性能，有效提高靶材产品质量。
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