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产品相态控制以及产品杂质的稳定控制

截止时间:2021-07-11 发布时间:2018-07-11 投入预算:面议 联系人:山军建 宁夏回族自治区

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需求简介

2014年开展了多晶硅铸锭涂层用高纯Si3N4粉的工艺研究,目前完成大量批次的工艺试验,确立了工艺路线、原料条件、氮化工艺参数(温度、时间和气氛条件等),亟待解决、攻关难点:产品相态控制以及产品杂质的稳定控制。

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