[00324330]一种自组装纳米氧氮化物涂层及其制备方法和应用
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201710340300.8
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
厦门立德软件公司
所在地:浙江
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- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍
本发明公开一种自组装纳米氧氮化物涂层的制备方法,采用传统PVD技术制备,根据靶材不同距离范围内等离子体能量和密度分布不同的现象,通过调整样品转架自转及公转速度,改变样品在不同等离子体区域停留的时间,从而制备自组装纳米多层氧氮化物涂层。该涂层包括富氧层和富氮层,富氧层和富氮层交替沉积在基体上,涂层成分为Al20~35at.%,Cr10~25at.%,Si0~15at.%,O5~50at.%,N10~50at.%。本发明的制备工艺简单,成本低廉,适应性好,兼顾氮化物以及氧化物涂层的优势,有很大的应用推广潜力。