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[00324071]一种TiB2/AlTiN复合涂层及其制备方法与应用

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201710340294.6

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 厦门立德软件公司

所在地:浙江

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明公开了一种TiB2/AlTiN复合涂层,所述TiB2/AlTiN复合涂层是以TiB2陶瓷靶和AlTi溅射靶为原料,通过多靶磁控溅射在基体上交替溅射沉积形成多层结构的TiB2/AlTiN复合涂层。所述TiB2/AlTiN复合涂层中AlTiN层与TiB2层的总层数为10~100层,调制周期的厚度为0.1~1μm。本发明的制备的TiB2/AlTiN复合涂层表现出了较高的硬度,良好的韧性和抗高温氧化性。本发明的磁控溅射双靶共沉积技术操作方便,无需后处理等工艺,制备周期短,成本低,可复现性好,应用范围广,可实现工业化大生产。

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