[00324071]一种TiB2/AlTiN复合涂层及其制备方法与应用
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201710340294.6
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
厦门立德软件公司
所在地:浙江
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技术详细介绍
本发明公开了一种TiB2/AlTiN复合涂层,所述TiB2/AlTiN复合涂层是以TiB2陶瓷靶和AlTi溅射靶为原料,通过多靶磁控溅射在基体上交替溅射沉积形成多层结构的TiB2/AlTiN复合涂层。所述TiB2/AlTiN复合涂层中AlTiN层与TiB2层的总层数为10~100层,调制周期的厚度为0.1~1μm。本发明的制备的TiB2/AlTiN复合涂层表现出了较高的硬度,良好的韧性和抗高温氧化性。本发明的磁控溅射双靶共沉积技术操作方便,无需后处理等工艺,制备周期短,成本低,可复现性好,应用范围广,可实现工业化大生产。