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[00300304]钛金属表面原位合成TiC-DLC复合涂层的方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:201410276279.6

交易方式: 完全转让

联系人: 武汉大学

所在地:湖北武汉市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍

本发明公开了一种钛金属表面原位合成TiC-DLC复合涂层的方法,将Ti靶置于镀膜室内,并通入烃类气体,对镀膜室抽真空并保持100~400℃温度,采用电弧离子镀使Ti离子从Ti靶蒸发出来,同时利用电弧放电离化烃类气体,从而在Ti靶形成TiC掺杂的DLC复合涂层。本发明采用原位合成技术在Ti靶材表面直接发生化学反应形成复合涂层,可显著提高复合涂层成分的均匀性和涂层结合力,且制备过程简单、成本低廉、效率高,在DLC涂层制备中具有良好的应用前景。

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