研究方向 微电子学与固体电子学:微电子机械系统设计、仿真与制造(Design, Simulation and Fabrication of MEMS):微机械加速度传感器件、电热微驱动器;微纳系统器件集成与开发(Integration and Application of NEMS
个人简介
2013,丁桂甫(1963-),男,山东,博士,教授/博导,1980年于复旦大学化学系获得学士学位,1987年硕士毕业后进入上海交通大学微纳科学技术研究院,任“微米/纳米加工技术”国家级重点实验室副主任,主要从事微机械加速度传感器件、电热微驱动器方面的研究.E-mail:gfding@sjtu.edu.cn2010,丁桂甫(1963-),男,江苏徐州人,教授,博导,"微米/纳米加工技术"国家级重点实验室副主任,研究方向为微电子机械系统设计、仿真与制造(微机械加速度传感器件、电热微驱动器)、微纳系统器件集成与开发(微纳场发射器件、微流体芯片)、射频MEMS系统(RF开关、移相器、微波/毫米波天线).2008,丁桂甫,男,1963年生.上海交通大学微纳科学技术研究院教授、博士研究生导师.2007,丁桂甫(1963-),男,教授,博士生导师,主要研究方向为非硅微细加工技术、MEMS器件和纳米材料;2006,通讯作者:丁桂甫,教授,博士生导师,研究方向为:纳米材料及微细加工 E-mail:wangyuchao 112@sohu.com
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